De lêste jierren is de sensortechnology fan myn lân rap ûntwikkelje, en syn oanfraachfjilden ûntworden ek. As it moaiste soarte fan moderne mjittechnology, nije technologyen, nije materialen en nije prosessen en nije ferbergjen konstant op it mêd fan druk sensoren.
In druk Sensor is in apparaat dat wurdt brûkt om druksignalen te detektearjen en konvertearje se yn elektryske sinjalen neffens bepaalde regels. It wurdt breed brûkt yn ferskate produksje, yndustriële en aerospele fjilden, drukkooglikheid en ferskate motorjekens en bygelyks de wurketemperatuer fan diffús fan diffús fan diffuseare silisipisches-diffuseare silisipusen ° C) sil mislearje, resultearje yn misbrûk fan drukmjitting. Dêrom wurdt de Hege temperatuer druk sensor in heul wichtige ûndersyksrjochting.
Klassifikaasje fan hege temperatuerdruk sensors
Neffens de ferskillende materialen kinne brûkt wurde, kinne hege-temperatuer-sensoren wurde ferdield yn polysilices, sos-temperatuerruk sensoren, optyske drukpersoanen, optyske sitten fan 'e hjoeddeistige sinnigingssensoren, de spesjale ûntwikkelingssituaasje, de ûndersyksstatus en perspektiven fan Soi Sensoren fan hege temperatuer binne heul ideaal. De folgjende yntroduseart foaral de Soi High Temperatur Becessor.
SOI HEID TEMPERATS druk Sensor
De ûntwikkeling fan SOI-hege-temperatuerferoarders ûnthâldt foaral op 'e opkomst fan SOI-materiaal, dat spesjale struktuer fan SOI-laach is ynskeakele en de SUBSTRATE LAYER, elimineart it mienskiplike poarte-latcheffekt yn it bulk Silicon, en ferbetteret de betrouberens fan it apparaat fan it apparaten, fanwegen de skaaimeringen fan hege temperatuer fan 'e SOI-apparaatlaach, wurdt it in ideaal materiaal foar it tarieden fan' e tarieding fan hege temperatuer.
Op it stuit binne SOI High-temperatuer Súkses yn it bûtenlân ûntwikkele, en de wurktemperatuer is-45 - C; The -5 ° C Soi High-Temperatuer Druk Sensor ûntwikkele troch it Goodrich Advanced Sensor Technology Center yn 'e Feriene Steaten; De SOI High-Temperatuer Druk Sensor ûntwikkele troch it Frânske Leti-ynstitút hat ek in wurkstemperatuer fan mear dan 400 ° C.Domestyske ûndersyksensoaren, lykas Xi'an Jiaotong University, Tianjin University, Tianjin University, Tianjin University, en Peking University, en Peking University, en Peking University, en Peking University, en Peking University, en Peking University, en Peking University, en Peking University, en Peking University, en Peking University, en Peking University, en Peking University, en Peking University, en Peking University, en Peking University, en Peking University, en Peking University, en Peking University, en Peking University, en Peking University, en Peking University, en Peking University. Derneist is it Fatri Takomst Technology Undersyks Institute fan Fatri fan Fatri ek relatearre ûndersykswurk útfierd, en it hjoeddeistige projekt hat de demonstraasjepoadium ynfierd.
Wurkprinsipe fan Soi High Temperatur Druk Sensor
Yn prinsipe brûkt de Soi High Temperatuer-sensor foaral it piezoresistive-effyzje fan single Crystal. Hoe is in feroaring yn 'e silisium fan' e Silicon yn 'e Silicon yn' e Silicon. PiezoresIsten binne etsen yn in spesifike rjochting yn in spesifike rjochting op it Soi Top-apparaat laach om in tarwe-brêge te foarmjen lykas werjûn yn figuer 2 (a); In druk efternotheid wurdt etsen op 'e SOI-substraat laach om in drukgefoelige struktuer te foarmjen.
Figuer 2 (A) Wheatstien Bridge
As de drukgefoelige struktuer wurdt ûnderwurpen oan loftdruk, feroaret it wjerstân fan 'e piezoresistor, dy't de útfierspanning dy't wurdt feroare, en de druk wurdt metten, dan wurdt de wearde fan' e útfierspanning fan 'e piezoresistor.
Fabrikaasjeproses fan Soi High Temperatur Druk Sensor
It tariedingsproses fan SOI High-Temperatuer Druk Sensor omfettet meardere MEMS-prosessen. Guon wichtige stappen wurde hjir yntrodusearre om it proses fan 'e sensor te begripen, fral ynklusyf piezoresistor-tarieding, metalen lead tarieding, drukferoaring, en drukkampenpakketing.
De kaai foar de tarieding fan VariStoren leit yn 'e kontrôle fan' e dopingkonsintraasje en de optimalisaasje fan it folgjende etsende skjinner proses; De metalen lead-laach tsjinnet foaral as de ferbining fan 'e taretstien brêge; De tarieding fan 'e drukgefoelige film ferfarret foaral op it djippe silisium etsenproses; De ferpakking fan 'e holte ferskilt normaal ôfhinklik fan' e tapassing fan 'e oanfraach fan' e drukgewoan,
Sûnt de hjoeddeistige kommersjilde ûnderdielen fan hege temperatuer net kinne foldwaan oan 'e spesjale hurde-omjouwings, en ase-motoren op hege temperatuer en hege-temperatueren binne irental materialen wurden foar it ideale materialen wurden foar drukpersoanen. Takomstingûndersyk op Soi-temperatuer-druk sensoren moatte rjochtsje op it oplossen fan 'e lange termyn stabiliteit en selsferwiderings fan sensoren yn hurde omjouwings en ferbetterje de krektens fan drukpersoanen. aspekt.
Fansels fereasket de komst fan 'e yntelligint ek Soi-temperatuer-sensors te kombinearjen mei oare intellisearjende technologyen, en ynformaasje op' e sels-kalibraasje, om de Mission te foltôgjen fan it sensuer fan 'e omjouwing fan komplekse om' e omjouwing fan hege temperatuer te foltôgjen. .
Posttiid: MAR-03-2023